激光微調(diào)技術(shù)

 功能調(diào)系列調(diào)阻機(jī) 

 

設(shè)備特點(diǎn)

 

 

•定制化：可針對(duì)客戶產(chǎn)品不同的激光調(diào)阻應(yīng)用要求，提供具有較高價(jià)值的產(chǎn)品解決方案。

•調(diào)阻精度高：獨(dú)特的測(cè)控技術(shù)，測(cè)量控制系統(tǒng)精度的一致性好，提升產(chǎn)品附加值；成品率高，單位成本下降。

•軟件可編程：可輕松實(shí)現(xiàn)客戶的不同需求以及高自動(dòng)化運(yùn)行，也可作為專門的測(cè)試平臺(tái)，適應(yīng)性廣。

•使用成本低：采用了最先進(jìn)的激光器，無(wú)耗材，使用成本最低，長(zhǎng)期使用節(jié)約大量的費(fèi)用。

•多功能：可實(shí)現(xiàn)陶瓷基片的激光劃線、打標(biāo)，減少設(shè)備的再投入。

•專業(yè)大理石基座，可有效減小工作臺(tái)啟動(dòng)、停止和加速過(guò)程中產(chǎn)生的震動(dòng)，同時(shí)保持機(jī)臺(tái)溫度的穩(wěn)定性，可靠性高。

 

主要技術(shù)參數(shù)

 

 

激光系統(tǒng)	型號(hào)規(guī)格	LT
	激光波長(zhǎng)	1064nm
	激光功率	10W
	典型光斑尺寸	35±5µm
	對(duì)焦方式	自動(dòng)，計(jì)算機(jī)程序控制
	冷卻方式	風(fēng)冷
激光束定位系統(tǒng)	激光束運(yùn)動(dòng)范圍	60mm X 60mm
	運(yùn)動(dòng)分辨率	0.76µm
	重復(fù)定位精度	±5µm
分步重復(fù)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)	運(yùn)動(dòng)方式	精密閉環(huán)XY平臺(tái)
	運(yùn)動(dòng)范圍	300mm*300mm
	重復(fù)定位精度	±10µm
	最大運(yùn)動(dòng)速度（空載）	180mm/s
測(cè)量系統(tǒng)	電阻測(cè)量方式	四線制測(cè)量或二線制測(cè)量
	電阻測(cè)量精度	中阻0.05%
	電阻測(cè)量范圍	0.1Ω-100MΩ
	測(cè)量速度	25µs/次
	零點(diǎn)及滿程誤差校正	自動(dòng)校正
	探針定義	可編程任意設(shè)定
	探針板運(yùn)動(dòng)	自動(dòng)，計(jì)算機(jī)程序控制

 

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