![]() |
|
公司基本資料信息
|
特點:
最適合于檢測半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。
采用聲光報警。
規(guī)格
檢測對象氣體 |
半導(dǎo)體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等) |
檢測原理 |
熱線型半導(dǎo)體式 |
采樣方式 |
自動吸引式 |
可檢測濃度 |
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣 |
檢測表示 |
蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍 |
應(yīng)答速度 |
10秒以內(nèi) |