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半導(dǎo)體特氣檢漏儀XP-703D日本新宇宙自動吸引式

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最后更新: 2016-07-13 16:13
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詢價
公司基本資料信息
 
 
產(chǎn)品詳細(xì)說明
 

日本COSMOS半導(dǎo)體特氣檢漏儀XP-703D日本新宇宙自動吸引式 

特點: 
最適合于檢測半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。
采用聲光報警。
規(guī)格 

檢測對象氣體

半導(dǎo)體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)

檢測原理

熱線型半導(dǎo)體式

采樣方式

自動吸引式

可檢測濃度 
(單位:ppm)

砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣 
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

測表

蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍

應(yīng)答速度

10秒以內(nèi)

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