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晶圓薄膜電阻修調(diào)機(jī)特性

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所在地: 湖北 武漢市
有效期至: 長(zhǎng)期有效
最后更新: 2015-07-03 08:41
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詢價(jià)
公司基本資料信息
 
 
產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明
 LT7130激光調(diào)阻機(jī) 

 

設(shè)備特點(diǎn)

 

 

•調(diào)阻效率高:調(diào)阻速度相對(duì)國(guó)內(nèi)其它激光調(diào)阻產(chǎn)品高出4-10倍,產(chǎn)能大大提升,單位成本下降。

•調(diào)阻精度高:獨(dú)特的測(cè)控技術(shù),測(cè)量控制系統(tǒng)精度的一致性好,提升產(chǎn)品附加值;成品率高,單位成本下降。

•軟件可編程:可輕松實(shí)現(xiàn)客戶的不同需求以及高自動(dòng)化運(yùn)行,也可作為專門(mén)的測(cè)試平臺(tái),適應(yīng)性廣。

•使用成本低:采用了最先進(jìn)的激光器,無(wú)耗材,使用成本最低,長(zhǎng)期使用節(jié)約大量的費(fèi)用。

•多功能:可實(shí)現(xiàn)陶瓷基片的激光劃線、打標(biāo),減少設(shè)備的再投入。

•專業(yè)大理石基座,可有效減小工作臺(tái)啟動(dòng)、停止和加速過(guò)程中產(chǎn)生的震動(dòng),同時(shí)保持機(jī)臺(tái)溫度的穩(wěn)定性,可靠性高。

 

主要技術(shù)參數(shù)

 

 

激光系統(tǒng)

型號(hào)規(guī)格

LT7130

激光波長(zhǎng)

1064nm

激光功率

10W

典型光斑尺寸

35±5µm

對(duì)焦方式

自動(dòng),計(jì)算機(jī)程序控制

冷卻方式

風(fēng)冷

激光束定位系統(tǒng)

激光束運(yùn)動(dòng)范圍

60mm X 60mm

運(yùn)動(dòng)分辨率

0.76µm

重復(fù)定位精度

±2.5µm

分步重復(fù)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)

運(yùn)動(dòng)方式

空氣懸浮運(yùn)動(dòng),無(wú)摩擦力

運(yùn)動(dòng)范圍

290mm*260mm

重復(fù)定位精度

±2µm

最大運(yùn)動(dòng)速度(空載)

900mm/s

測(cè)量系統(tǒng)

電阻測(cè)量方式

四線制測(cè)量或二線制測(cè)量

電阻測(cè)量精度

中阻0.02%

電阻測(cè)量范圍

0.1Ω-100MΩ

測(cè)量速度

25µs/次

零點(diǎn)及滿程誤差校正

自動(dòng)校正

探針定義

可編程任意設(shè)定

探針板運(yùn)動(dòng)

自動(dòng),計(jì)算機(jī)程序控制

 

聯(lián)系人:程工

手機(jī):15671696608

座機(jī):027-59721015

傳真:027-59721017

QQ:15671696608

郵箱:15671696608@qq.com

地址:武漢東湖新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)黃龍山北路4號(hào)(光谷一路與黃龍山北路交匯處)

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